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光刻胶-智能芯片的“根”技术之一,远比光刻机更紧迫。
韭死一生
2023-05-27 19:39:58

日本经济产业省23日宣布,针对23种半导体制造技术的出口限制措施将在7月23日正式生效。
在美对华贸易战封锁中国芯片渠道后,G7峰会上,日本政府发布了《战略性晶圆材料和关键零部件出口管制制度》等政策,从而限制23种关键芯片制造设备出口。


光刻胶只有6个月保质期属于耗材!!

5月9日,上海新阳召开2022年度业绩说明会,透露了光刻胶及配套原材料等的进展情况。

针对光刻胶产能等话题,上海新阳表示公司目前建成年产能为100吨,上海本部、合肥基地的规划年产能为1000多吨。同时关于公司的光刻胶产品情况,其透露——

(1)I线、KrF光刻胶已有多型号的产品实现小批量、持续销售,目前有多型号的产品在多个客户端进行测试和验证。

(2)ArF光刻胶目前处于客户端认证阶段,目前进程顺利;ArF干法胶尚在客户认证阶段,与客户工艺及不同应用领域需求匹配调试当中。

(3)进行了EUV光刻胶的基础性研发工作。目前已经掌握基本原理,并针对不同方向分别进行了树脂等的研发,且已取得阶段性曝光结果。

(4)在配套材料上,上海新阳的光刻胶稀释剂、底部抗反射膜(BARC)正处于实验室研发阶段。

在光刻机设备方面,上海新阳共购买购买四台光刻机:用于KrF光刻胶测试的光刻机(型号:Nikon-S205C);用于ArF干法光刻胶测试的光刻机(型号:ASML-1400);用于ArF湿法光刻胶测试的光刻机(型号:ASML XT 1900 Gi);用于I线光刻胶测试的光刻机(型号:Nikon-i14)。对应I线、KrF和ArF干法光刻胶研发测试用的光刻机已都正常投入使用,对应ArF湿法光刻胶的光刻机安装调试基本结束。

对于2023年的光刻胶收入,上海新阳也透露了自身信心:“预计2023年光刻胶会有持续小批量连续销售,其销售收入会比2022年有明显增加。”
另据上海新阳2023一季度季报显示,今年一季度实现营业收入26,086.44万元,较上年同期相比上涨6.25%;实现归属于上市公司股东的净利润5,639.68万元,较上年同期相比上涨514.57%。

在产品方面,2022年均取得了不同程度的进展和突破,其中,光刻胶研发进展比较顺利:

I线、KrF光刻胶已经在超10家客户端提供样品进行测试验证,并取得了部分样品的订单,通过测试验证。此外,部分产品已获得晶圆制造企业小批量连续订单。KrF光刻胶的样品测试验证的范围和样品类别将继续扩大,ArF浸没式光刻胶的研发进展也比较顺利,ASML-1900光刻机安装调试进度符合预期,安装调试基本结束。

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