半导体刻蚀机持续突破， 加大布局薄膜与量测设备

我们将中微公司 23-24 年归母净利润上调至 15.1/19.9 亿元（前值为13.5/16.9 亿元），并新增 2025 年盈利预测，预计 2025 年归母净利润为 25.6亿元。上调盈利预测主要考虑到： 1）公司在手订单充裕，刻蚀机市场份额不断提升； 2）公司薄膜沉积、量测设备等平台化布局顺利，打开长期成长空间。 由于半导体设备厂家利润逐渐兑现，摆脱了依赖高额政府补助补贴研发的阶段，因此我们改用 PE 估值， 23 年可比公司 PE 为 77 倍，给予公司23 年 77 倍 PE， 对应目标价 188.05 元（前值为 169.09 元），维持“增持”。

2024 年半导体设备市场规模有望回升，关注半导体去库存节奏

美国加州时间 2023 年 6 月 6 日， SEMI 在其发布的《全球半导体设备市场报告》中宣布， 2023Q1 全球半导体设备出货金额达 268 亿美元， 同比+9%，环比-3%。 根据 SEMI 23 年 3 月预测显示， 全球用于前端设施的晶圆厂设备支出预计将从2022年980亿美元同比下降22%至2023年的760亿美元。但 2024 年，将同比增长 21%。 2023 年设备市场萎缩主要系除 AI 等场景外终端需求乏力以及较高的库存导致。随着下游去库存推进， 24 年半导体设备市场有望恢复增长。

半导体设备国产率仍有空间，受管制环节有望迎来突破

根据中国国际招标网显示的半导体设备中标数据推算，截至 2023 年 4 月，国内部分晶圆厂设备累计国产化率约为 16.7%，仍有较大提升空间。随着日本、美国等国家对中国的半导体设备出口管制升温， 10nm-14nm 及以下先进逻辑半导体所需设备，包括清洗、薄膜沉积、热处理、光刻、刻蚀、测试等设备国产替代诉求继续加强，有望推动相关环节本土设备商产品加速验证，并取得订单。

公司刻蚀设备市占率持续提升， 薄膜沉积及量测领域平台化进展顺利

2022 年公司刻蚀设备收入 31.5 亿元，同比+57.1%， MOCVD 收入 7.0 亿元，同比+39.1%，新签订单 63.2 亿元，同比+53.0%； 2023Q1 公司收入12.23 亿元，同比+28.9%， 保持稳健增长。 公司 CCP 刻蚀机在国际最先进的 5 纳米芯片产线及下一代更先进的产线上实现多次批量销售； ICP 刻蚀机订单进展迅速； 薄膜沉积方面，公司积极研发 EPI 设备，并于近日推出 12英寸 LPCVD 设备。此外，公司于 5 月 17 日与国家集成电路产业投资基金签署关于睿励科学的产权交易合同，以 5790 万元获睿励科学 6.76%股权。在巩固刻蚀设备优势同时，强化薄膜沉积与量测布局。

风险提示： 半导体复苏低预期，新产品研发不及预期，国外技术管制风险。