公司成功研发具备先进水平的射频微晶P工艺，助力异质结PECVD提效降本

　　（1）根据公司官方公众号，公司常州HJT中试线成功研发出具有行业先进水平的射频(RF)微晶P工艺，微晶P薄膜沉积速率超过2埃/秒，晶化率稳定在50%以上。常州中试线制备的基于双面微晶的12BB异质结电池平均效率达到25.1%（德国ISFH（哈梅林）标准），电池良品率稳定在98%以上。

　　（2）射频(RF)微晶P的高速高质量沉积，一直是困扰异质结大产能板式PECVD的技术难点，通过本次技术突破，公司的大产能射频板式PECVD预计将比市面上主流设备减少1-2个微晶P腔体。射频(RF)微晶P设备工艺均匀性达到6%以内，稳定性和重复性均在中试线量产设备上得到充分验证，达到行业先进技术水平。

　　TOPCon、HJT、IBC、钙钛矿设备及半导体设备全面布局，助力公司业绩高增

　　1）TOPCon：预计2023-2025年为TOPCon扩产高峰期、合计市场规模1107亿元（年均369亿元）。公司是光伏设备龙头企业，具备TOPCon设备整线交付能力。在PE-Poly路径的TOPCon设备领域具备独创的技术领先型，因PE-Poly的三合一工艺集成，很好地解决传统路线上的绕镀、石英器件损耗、原位掺杂工艺时间长等难点，成为TOPCon技术路线的主流选择，市占率已超过50%，并呈逐步上升趋势。公司有望优先受益TOPCon产能扩张。

　　2）HJT：为满足新设备、新材料、新工艺验证，打造HJT技术交钥匙解决方案，下属子公司建立的HJT中试线量产转换效率持续稳定达25%以上。公司板式PECVD可实现单面或双面微晶工艺，助力实现HJT电池25%以上量产平均转换效率。公司近期已中标全球头部光伏企业量产型HJT整线订单，标志着公司在HJT全线路装备和工艺技术上取得突破，获得市场及客户认可。本次射频（RF）微晶P高速率高晶化率工艺取得突破，进一步增强公司在HJT设备领域的竞争优势。

　　3）钙钛矿：以其高效率、低成本、制备工艺简单等特点，被认为是极具潜力的高效率低成本光伏技术之一。公司具备钙钛矿及钙钛矿叠层MW级量产型整线装备的研发和供应能力，已向多家光伏头部企业和行业新兴企业及研究机构提供钙钛矿装备及服务。我们测算，2030年钙钛矿设备市场空间有望达800亿元以上。

　　4）半导体领域：公司全资子公司创微微电子自主开发6、8、12寸湿法刻蚀清洗设备，涵盖多种前道湿法工艺，获得了批量订单，实现半导体领域拓展。

　　盈利预测：看好公司在光伏、半导体行业未来大发展中战略地位和成长性预计2023-2025年归母净利润16、28.1、38亿元，同比增长52%、76%、35%，CAGR=54%，对应PE 21、12、9X。维持“买入”评级。

　　风险提示：新技术推进速度不及预期；下游扩产不及预期；下游客户坏账风险。