今日公司股价出现明显回调，我们与公司沟通确认，公司无任何问题，未有利空事件。我们推测大幅回调主要是交易层面原因，一方面今日半导体零部件板块出现一定程度调整，另一方面公司股价过去一个月涨幅超过60%，显著强于其他零部件公司，短期较大涨幅致使部分资金获利了结。我们预计公司2023年利润4亿左右，当前市值对应明年业绩不到30倍，公司是半导体零部件板块估值较为便宜标的，考虑到中长期较好成长性，大幅回调建议重点关注。

1、公司是国内领先的工艺介质供应系统商，专业从事电子工艺设备、生物制药设备、电子气体和 MRO服务，并拓展半导体零部件Gas Box业务，业绩快速增长。2021年公司营收和归母净利润分别达到18.37、1.68亿元，2016-2021年CAGR为26%和52%，利润端增速明显高于收入端，真实盈利水平持续提升。

2、工艺介质系统：受益于集成电路、光伏等行业旺盛的扩产需求，工艺介质系统需求有望维持高位。我们预估2021年中国大陆半导体工艺介质系统市场规模为144亿元，2023年有望达到206亿元。若再考虑到光伏等行业需求，2021年工艺介质系统市场规模将突破200亿元。我们判断2021年公司在本土市占率仍不足10%，成长空间依旧较大。

3、半导体设备零部件：Gas Box是干法泛半导体设备核心零部件，2021年中国大陆半导体设备Gas Box市场规模约47亿元，泛半导体行业整体需求超过100亿元。公司深耕气体输送系统多年，设备外输送系统与设备内部气体系统底层技术互通，正在积极对接半导体&光伏设备客户，部分客户已批量采购，有望进入快速放量阶段。

4、OPEX：展望未来，考虑到泛半导体行业周期性，在未来下游扩产增速放缓背景下，OPEX业务的战略重要性将愈发凸显，公司正在材料、服务端积极布局。1）电子气体：公司在电子特气领域已形成较强市场竞争力，2022年募投项目重点布局电子大宗气，实现产品和区域覆盖度的拓展。2）MRO：主要指配套服务业务，2021年公司MRO业务收入占比仅为10%，后续成长空间较大。