【光刻胶研究框架】方正电子团队
🤔高端光刻胶国产化率不足5%,在外部产能不足的刺激下,随着KrF、ArF光刻胶研发完毕,光刻胶将真正进入国产替代的高峰期。
📚受益于国内晶圆厂产能扩充和国产替代加速,持续看好:晶瑞、彤程(科华)、华懋(博康)、南大光电、上海新阳。
晶瑞股份:KrF完成中试;ArF研发工作正式启动;2020年光刻胶创新高达到1.8亿元。
彤程新材:收购半导体光刻胶龙头北京科华,产品覆盖KrF、i线、g线,拥有百吨级248nm光刻胶生产线,正在攻克ArF光刻胶。
华懋科技:投资博康布局光刻胶,上游材料技术达到先进水平,成功开发或测试KrF光刻胶、ArF光刻胶产品,新建年产1100吨光刻材料项目。
南大光电:获得国家02专项ArF光刻胶立项,ArF产品成功通过使用认证,拟建立年产25吨ArF(干式/浸没式)光刻胶产品的产线。
上海新阳:公司已获得ArF干法、KrF厚膜产品配方和技术参数,达到进行中试产品验证的基本要求,购得ASML光刻机,用于研发高端光刻胶。
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