晶盛机电碳化硅衬底片项目签约启动会议要点
夜长梦山
2023-11-05 18:24:06
晶盛机电碳化硅衬底片项目签约启动会议要点【长江机械&电新&电子】
1、本次签约月产25万片6英寸、5万片8英寸SiC衬底项目，落户上虞
2、SiC业务历程：碳化硅开始用于军用市场，后来以新能源车为代表的民用市场爆发。公司于2017年开始SiC晶体生长设备和工艺研发，2020年成立碳化硅长晶实验室和中试线，相继成功研发6、8寸晶体和衬底，是国内第二家做出8寸碳化硅衬底的公司。2023年从中试迈入大规模量产。行业普遍用感应加热法，而公司坚持电阻加热法。长晶和核心加工设备均自制，产线国产化率高达90%+。同时，今年发布6英寸碳化硅外延炉和8英寸单片式外延炉。
3、项目进展：已建成6-8英寸中试线，形成月产5000片6英寸衬底能力，而且通过下游客户验证，在直径、微管密度、位错、电阻率、弯曲度等指标达到领先水平。6英寸量产TSD<100，BPD<400，研发试产TSD<10，BPD<50，争取在2024年一季度达到量产TSDfree和BPDfree。实现8英寸小批量生产+下游验证中，可供应500um和350um的8英寸碳化硅衬底，而且产线兼容6-8英寸产品。项目总投资21.2亿元，固定资产投资19.88亿元，预估建设期2年。
4、市场前景：2025年碳化硅器件全球市场规模约430亿元，其中衬底片占比47%，主要应用在新能源车和光伏储能领域。2025年全球电动车市场对6英寸SiC晶圆需求将达到445万片以上，光伏逆变器需求将达30万片(碳化硅渗透率50%+)。
5、竞争格局：Wolfspeed和II-VI为代表的海外公司占主导，CR3高达90%。国内衬底产能100万，外延产能250万，目前已形成完整的产业链。
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