至纯科技(603690)
公司为国内半导体清洗设备与高纯系统龙头，首次覆盖给予“买入”评级
公司作为国内半导体清洗设备与高纯工艺系统龙头，同时衍生了电子材料、部件清洗及晶圆再生等服务业务，公司技术实力强大，产品受到市场认可，在国产晶圆厂积极扩产及国产替代趋势下，公司在手订单饱满，成长动力充足。我们预计2022-2024年公司可分别实现归母净利润3.47/4.98/6.52亿元，EPS1.08/1.56/2.04元，当前股价对应PE38.5/26.8/20.5倍，首次覆盖给予“买入”评级。
高纯工艺系统应用广泛，公司实力强大，成长动力充足
高纯工艺系统广泛应用于泛半导体及生物制药等领域。下游集成电路、光伏及生物制药行业产能扩张以及因技术进步带来的技术改造将为高纯工艺系统带来新的需求动力。客户依赖性强及高技术要求导致了较高的行业壁垒，从而行业呈现出高等级市场集中度较高、低等级市场分散的竞争格局。公司作为本土供应商，深耕高纯工艺系统，在客户资源、技术积累方面等均具有优势，未来增长可期。
半导体清洗设备国产替代空间大，公司积极扩产，布局细分赛道，前景可期
据SEMI数据及预测，2021年全球半导体设备销售额1026亿美元，同比增长44%，预计2022年达1175亿美元，同比+15%；2021年中国大陆半导体设备销售额为296亿美元，同比增长56%。清洗贯穿半导体全产业链，占半导体设备份额的5%全球半导体清洗设备市场集中度较高，2020年清洗设备CR4达94%，国外厂商垄断，国产替代前景广阔。公司湿法设备可以满足目前国内产线成熟工艺及先进工艺涉及的全部湿法工艺。2022H1公司制程设备新增订单8.06亿元，同比增长87.44%，实现收入4.66亿元，同比增长73.09%，毛利率提升11.21个百分比达35.11%。公司在合肥布局晶圆再生及部件清洗项目，目前已通线试产，是国内首条投产的12寸晶圆再生产线，部件清洗项目为国内首条设立完整的阳极产线。公司为国内28纳米工艺节点的集成电路制造厂商提供配套，投资建设了半导体级的大宗气体工厂，2022年初顺利供气，成长动力充足。
风险提示：原材料价格上涨风险、客户验证不及预期、下游需求不及预期。
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研究员：开源证券 刘翔,罗通
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