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蚂蚁先生
2023-09-08 11:51:41
@牛🐮🐮🐮: 一步一图,了解光刻机的工作原理icguide​华中科技大学 软件工程硕士57 人赞同了该文章光刻机是半导体工业中的关键设备,主要用于制造芯片中的微小结构。它通过将掩模上的图形投影到硅片上,并使用紫外线照射硅片表面,使其形成微小的结构。ASML光刻机本文将从光刻机的构成、工作原理、曝光过程和曝光技术等
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