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释稼
这个人很懒，什么都没有留下
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  • 释稼
    2023-09-16 09:21:53
    较全面！
    @柴尔德：光刻机深度 _ 中航科技电子团队
    省流总结：光刻机里发生了？1.光掩模、透镜组和硅片工件台会精密对准和调平2.光源放光3.移动工件台◼ 光刻为IC制造核心工艺，光刻技术的演进成就了摩尔定律。光刻工艺占IC制造1/2的时间+1/3的成本，在瑞利公式：𝐶𝐷 = 𝑘1𝜆/𝑁𝐴 的指导下，人类在缩短波长𝜆，增大数值孔径NA，降
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