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无名小韭37350212
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无名小韭37350212
2023-04-02 22:10:45
光刻机产业链
【财联社】国内光刻机产业起步较晚,与海外具体差距明显。1977年,清华大学精密仪器系、中科院光电所、中国电子科技集团公司第四十五研究所(简称中电科45所)等先后投入研制光刻机。我国也时隔近十年,研制出了具有一定代表意义的光刻机——接触式光刻机GK-3型半自动光刻机。 光刻机产业链主要包括上游设备及配套材料、中游光刻机系统集成和生产及下游光刻机应用三大环节,技术极为复杂,涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术,部分机型所需的零部件更是多达数十万件,因此光刻机
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【财联社】国内光刻机产业起步较晚,与海外具体差距明显。1977年,清华大学精密仪器系、中科院光电所、中国电子科技集团公司第四十五研究所(简称中电科45所)等先后投入研制光刻机。我国也时隔近十年,研制出了具有一定代表意义的光刻机——接触式光刻机GK-3型半自动光刻机。 光刻机产业链主要包括上游设备及配套材料、中游光刻机系统集成和生产及下游光刻机应用三大环节,技术极为复杂,涉及系统集成、精密光学、精密运动、精密物料传输、高精度微环境控制等多项先进技术,部分机型所需的零部件更是多达数十万件,因此光刻机
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