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SiC外延设备专家交流精华

夜长梦山

2023-09-08 12:36:22

【对话产业链大佬】SiC外延设备专家交流精华 👉碳化硅外延设备存量：目前碳化硅外延设备存量约300台，还有部分订单会在年底前交付，例如纳设未来2-3个月内还要交付100台；2023年底预计存量500台左右（水平热壁&垂直热壁）。 👉外延片产能：单台产300片+/月，23年底预计外延设备存量500台，即23年底全行业月产能达到17万片，年产能达到200万片；24-25年产能约500万片；未来外延玩家包括传统外延厂商、衬底商向下延续、器件商向上扩展，2-3年内依旧以传统外延厂商为主。 👉国内碳化硅外延设备：华创、晶盛、纳设技术路线都是水平气流单腔单片式（LPE路线），价格约600万，其中纳设智能单价贵小几十万；按照签单合同计算，华创、晶盛、纳设订单都没有超过200台，三家订单差异不大，纳设略微领先。 👉国外碳化硅外延设备：（1）LPE：单价1000万+，单腔单片（1小时），水平气流，设备简单，是瀚天天成和东莞天域扩产首选；（2）Nuflare: 单价3000万+，单腔单片，垂直气流，操作难度较大；（3）爱思强：单价3000万+，单腔8片（2.5-2.7小时），水平旋转式，设备操作难度大，目前已经从G5升级到G10。 👉国外产能不高，国产替代加速：（1）国外设备产能不高&交货周期比较长，国内华创、晶盛、纳设、芯三代都已实现突围；（2）关键零部件包括流量计，阀，真空泵，机械手，测温仪，石墨件，石英件等都有对应国产厂商，其中纳设的国产化率大于50%。

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