2023年4月，上海积塔、华虹半导体、润鹏半导体、新昇半导体等企业合计招标743台设备，数量高于3月的321台，环比增长131.46%。其中，光刻设备9台，刻蚀设备37台，薄膜沉积23台，工艺检测53台，离子注入3台，CMP 23台，清洗设备21台，涂胶显影13台。

从招标企业来看，上海积塔新增设备招标494台，华虹半导体新增设备招标6台，华虹宏力新增设备招标1台，润鹏半导体新增设备招标185台，新昇半导体新增设备招标3台，株洲中车新增设备招标5台，汇芯通信新增设备招标7台。

其中，上海积塔特色工艺项目再启大额招标，4月设备招标数量远高于3月的216台，环比增长128.7%，创新高。本月招标关键设备包括4台KrF扫描式光刻机、2台ArF扫描式光刻机、1台钨金属化学气相沉积以及1台6寸常压化学气相沉积设备；此外，干泵、真空泵设备需求较多。

从中标方面来看，集微网根据招标平台数据整理统计，2023年4月，北方华创、盛美上海、精测半导体、应用材料、东京电子等企业合计中标86台设备，数量低于3月的129台，环比下降33.33%。其中，刻蚀设备5台，薄膜沉积6台，工艺检测14台，离子注入15台，CMP 1台，热处理5台，清洗设备11台。

国内设备厂商合计中标34台设备，占比约为39.53%。其中，北方华创共中标2台设备；盛美上海共中标1台设备，是为新昇半导体提供提供1台最终清洗机；精测半导体共中标1台设备，是为上海芯物科技提供1台全自动电子束晶圆缺陷复查和分类设备；华卓精科共中标2台设备，是为上海积塔提供2台激光退火设备；苏州睿智源共中标4台设备，是为汇芯通信提供1台刻蚀机和3台清洗机。

国外设备厂商合计中标52台设备，占比约为60.47%。其中，应用材料共中标17台设备；东京电子共中标9台设备；KLA共中标10台设备，包括为中车时代半导体提供2台DFI缺陷检测设备、2台膜厚仪、1台Overlay等；SCREEN共中标2台设备，是为华虹半导体提供1台氮化膜湿法刻蚀设备和1台氧化膜湿法刻蚀设备；Axcelis共中标1台设备，是为上海积塔提供1台6英寸碳化硅高温中束流离子注入机。

其中，北方华创4月（2台）中标设备数量远低于3月（28台），分别为中标山东有研1台12英寸常压外延炉和中标之江实验室1台多腔室干法刻蚀设备。

应用材料4月（17台）中标设备数量远高于3月（1台），包括中标积海半导体3台薄膜沉积设备；中标中车时代半导体14台离子注入设备，包括4台大束流离子注入机、3台高能质子注入机、2台中束流离子注入机（前段）等。

东京电子4月中标华虹半导体9台设备，包括1台常压成膜扩散炉、2台低压成膜扩散炉、2台特性自动探针台和4台自动探针台。